Termenul „purificare” are o istorie lungă în chineză, însemnând inițial „a face curat și pur” și se poate referi, în linii mari, la toate procesele și tehnologiile pentru îndepărtarea impurităților și eliminarea poluării. Termenii corespondenți în limba engleză includ „purification” (subliniind puritatea) și „clean” (subliniind curățenia). Prin urmare, expresia engleză pentru ingineria camerelor curate include „Purification Engineering”, „Clean Engineering” sau „Cleanroom Technology”, printre altele. Acest sens larg determină că ingineria camerelor curate are conotații distincte în diferite discipline.
Ingineria modernă a camerelor curate, cu tehnologia camerelor curate în centrul său, a apărut în anii 1950. În timpul Războiului din Coreea, armata americană a descoperit că multe instrumente electronice funcționau deseori din cauza pătrunderii de praf, ceea ce a stimulat dezvoltarea tehnologiei de purificare a aerului, în special cercetarea și aplicarea filtrelor de aer cu particule de-eficiență ridicată (HEPA). În 1961, Willis Whitfield de la Sandia National Laboratories a propus o schemă de organizare a fluxului de aer curat cu „flux laminar” (acum numită oficial „flux unidirecțional”), permițând camerelor curate să atingă niveluri fără precedent de curățenie. În același an, US Air Force a lansat primul standard de cameră curată din lume, iar în 1963, a fost publicat standardul federal american FED-STD-209, marcând formarea inițială a sistemului tehnologic pentru camerele curate. Ulterior, odată cu dezvoltarea rapidă a industriilor precum circuitele integrate și biomedicina, tehnologia ingineriei camerelor curate a inovat și a evoluat continuu.
În China, „Codul de proiectare a camerei curate” (GBJ 73-84) a fost promulgat în 1984, iar „Codul de construcție și acceptare a camerelor curate” (JGJ 71-90) a fost promulgat în 1990. După mai multe revizuiri, un sistem standard național cu GB 50073-2013 a fost format „Clean Design” în centrul său. La nivel internațional, seria de standarde ISO 14644, compilată de comitetul tehnic ISO/TC209, reprezintă liniile directoare comune pentru camerele curate și mediile controlate aferente. țara mea a adoptat aceste standarde și le-a implementat ca seria GB/T 25915.